一臺超30億元的光刻機(jī)一年出5-6臺

by: admin 行業(yè)資訊 0 2025-03-07 18:27:33

ASML 推出高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)（High-NA EUV）設(shè)備，并力爭在 2026 年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。上個月 6 日，ASML 表示所有 EUV 客戶都在研發(fā)階段下單。法人看好，隨著新設(shè)備后續(xù)出貨以及先進(jìn)制程的推進(jìn)，ASML 概念股家登、崇越、華立、閎康等都有望受惠。

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ASML 的大客戶臺積電率先將極紫外光光刻（EUV）設(shè)備導(dǎo)入 7 納米量產(chǎn)，然而臺積電業(yè)務(wù)開發(fā)資深副總經(jīng)理暨副共同營運(yùn)長張曉強(qiáng)今年公開表示 “喜歡 High-NA EUV 的能力，但不喜歡標(biāo)價”。臺積電計(jì)劃今年采購高數(shù)值孔徑 EUV，但以研發(fā)用途為主，尚未導(dǎo)入生產(chǎn)。業(yè)界預(yù)估，高數(shù)值孔徑 EUV 售價超過 4 億歐元（約合人民幣 31.43 億元），價格高昂。

ASML 計(jì)劃今年出貨至少 5 - 6 臺高數(shù)值孔徑 EUV。英特爾今年 4 月喊出采購首臺高數(shù)值孔徑 EUV 并組裝完成，預(yù)計(jì)于 2027 年啟用，用于 14A 制程。臺積電確定今年至少采購一臺，SK 海力士計(jì)劃明年導(dǎo)入，三星原先計(jì)劃明年取得，希望今年底研發(fā)部門就能買進(jìn)。

High-NA EUV 產(chǎn)品管理副總裁 Greet Storms 昨日面對 “高價” 議題，巧妙回應(yīng) “相信客戶很會議價”。她表示，ASML 持續(xù)發(fā)展新的技術(shù)，每個 EUV 客戶在研發(fā)階段都看中高數(shù)值孔徑 EUV，也都已下單。2026 年希望能夠推動量產(chǎn)，但仍看客戶制程成本等總體考量。

據(jù)了解，高數(shù)值孔徑 EUV 已于去年底開始陸續(xù)出貨，預(yù)計(jì)每小時可曝光超過 185 片晶圓，支援 2 納米以下邏輯芯片及相似晶體管密度的存儲芯片量產(chǎn)。

ASML 強(qiáng)調(diào)，在先進(jìn)制程芯片制造中導(dǎo)入高數(shù)值孔徑 EUV 產(chǎn)品，可簡化制程工序、減少光罩?jǐn)?shù)量，達(dá)到產(chǎn)能和良率提升，減少制造每片晶圓的能耗。估計(jì)在先進(jìn)制程中導(dǎo)入包括 EUV 和高數(shù)值孔徑 EUV，2029 年生產(chǎn)每一片晶圓使用的 100 度電，實(shí)際為整體制程節(jié)省 200 度電。根據(jù) ASML 2023 年報(bào)，從 2018 年到 2023 年，EUV 曝光每片晶圓能耗減少近 40%，希望到 2025 年再減少 30 - 35% 的能耗。

億配芯城（ICgoodFind）認(rèn)為，ASML 推出的高數(shù)值孔徑 EUV 設(shè)備備受矚目，其在先進(jìn)制程芯片制造中的重要性不言而喻。盡管價格高昂，但各大芯片制造商的積極態(tài)度顯示出該設(shè)備的巨大潛力。隨著 2026 年量產(chǎn)的臨近，半導(dǎo)體行業(yè)有望迎來新的發(fā)展機(jī)遇。億配芯城（ICgoodFind）將持續(xù)關(guān)注半導(dǎo)體設(shè)備的創(chuàng)新動態(tài)，為客戶提供優(yōu)質(zhì)的芯片產(chǎn)品和服務(wù)。

文章標(biāo)簽： ASML ，光刻機(jī)